MEMS梁式測斜儀可以垂直或水平安裝在建筑物表面，用來測量建筑物可能發生的傾斜或沉降。將其首尾串接在一起，可以測量油氣管線、建筑物主體等整個監測剖面的不均勻沉降，還可以垂直安裝用來測量基坑連續墻、支撐板樁等的水平位移。其中BGK-6165D 采用BGK-Micro-40DPro自動化數據采集儀進行數據采集。